粉体工学用語辞典 powderpedia: Glossary of Powder Technolog

一般社団法人粉体工学会

ガス中蒸発プロセス

gas evaporation process

 気相中での微粒子製造プロセスの一つで,粒子にしようとする物質を加熱蒸発させ,それを冷却して過飽和の状態とし,均一核生成により材料微粒子を製造する方法である。化学反応により生じた反応生成物からの凝縮による粒子生成も含まれる。
 金属を低圧不活性ガス(0.13 ~ 13 kPa 程度の He,Ar ガス)中で蒸発・凝縮させるガス中蒸発法が代表的である。金属を蒸発させる加熱方法には,抵抗加熱法,高周波誘導加熱法,プラズマ加熱法,電子ビーム加熱法,レーザー加熱法などがある。生成直後の粒子の活性がきわめて高いために,粒子同士が凝集,融着する場合もある。不活性気体とともに,酸素,アンモニア,メタン系炭化水素などを加えると,酸化物,窒化物,炭化物などの微粒子が製造できる。

執筆者:粉体工学用語辞典
更新日:2021/7/27

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