気相もしくは液相中に浮遊する微粒子について，単位時間当たりに壁面や基板へ沈着する粒子の量。壁面近傍の粒子個数濃度の分布がわかれば，沈着フラックスは粒子の拡散と，気流，外力による輸送を考慮して求めることができる。また，沈着フラックスを壁面から離れた場所での粒子濃度で除して得られる，速度の次元をもつ沈着速度も，沈着の評価によく用いられる。