噴霧式エアロゾル発生法の一つ。圧電素子により，液に超音波振動を与えて波立たせ，液滴粒子を発生させる方法。加湿器や，耳鼻科のエアロゾル療法に利用されている。平均液滴径は数 µm 程度で，高濃度のエアロゾルを発生できる。