目的とする結晶性微粒子や薄膜などを得るための前段階として合成する物質をいう。たとえば，液相法で酸化物微粉体を調製する場合，沈殿する化合物は，通常，水酸化物である。これを仮焼して酸化物微粉体とするので，水酸化物沈殿は酸化物微粉体の前駆体である。前駆体には，このほかに無機塩および有機化合物なども含まれる。