ろ材の背面に真空を作用させ，上流側を大気圧として行うろ過。真空ろ過器には，バッチ式の真空ヌッチェのほか，連続式のオリバーフィルター，アメリカンフィルターなどがある。真空ろ過の利点は，連続ろ過が容易で大量処理が可能なことであり，またろ過面が大気圧下にあり検査や修理が容易で，通常維持費が安いことである。欠点は，低沸点物質や高温物質などの揮発性物質のろ過に利用できないこと，ろ過圧力に制限があるためろ過比抵抗の大きな物質には不適当なことなどである。

→　アメリカンフィルター， オリバーフィルター