1 µm 以下の大きさをいい，粉体工学の分野ではサブミクロン粒子というような用い方がされている。光学顕微鏡では測定が困難な大きさであり，また，慣性力が小さく慣性力を利用した粒子の分離・分級も困難な大きさである。その反面ブラウン運動が激しくなり，粒子のブラウン拡散を利用した粒子径測定法が適用できる領域となる。気相中での粒子の運動を考えるときに，カニンガムの補正が必要になる。

→　超微粒子，ブラウン運動，カニンガムの補正係数