ゾル・ゲル法をもとにした成膜法で，金属アルコキシドあるいはその他の化合物を溶媒中に溶解し，加水分解および脱水縮合などを行って得た前駆体を基板へ塗布し，熱処理をしてガラスおよび結晶コーティング膜とする。化学的保護，光学特性，電磁気特性，触媒特性などの機能が基板に賦与される。