粉体工学用語辞典 powderpedia: Glossary of Powder Technolog

一般社団法人粉体工学会

ULPAフィルター

ULPA filter, ultra low penetration particulate air filter

 定格風量で,粒径が 0.15 μmの粒子に対して 99.9995 % 以上の捕集効率をもち,かつ,圧カ損失が一般に 300 Pa(30 mmH2O)以下の性能をもつ工アーフィルター,と定義されるフィルターユニットである。HEPAフィルターと比べてろ材(濾材)の繊維径は細く,フィルターの折込み密度は高い。スーパークリーンルームで用いられる。

→ 工アーフィルターHEPAフィルター

執筆者:粉体工学用語辞典
更新日:2021/5/29

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